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项目团队所研发的光刻机用双频激光干涉仪系统,针对该标准制定项目如果有相关意见或建议



关于拟立项CIS 标准的公示通告

日前,由清华大学李岩、尉昊赟、吴学健、张弘元、张继涛、赵世杰、朱敏昊、黄沛、任利兵、杨宏雷完成的“高测速多轴高分辨力激光干涉测量技术与仪器”项目获得2018年度中国计量测试学会科学技术进步一等奖。
计量是科学技术的基础,是人类认识世界的工具,人类历史上的3次技术革命都和计量测试技术的突破息息相关,计量测试科技成果对推动其他科学技术的进步与发展具有重要的促进和引领作用。激光干涉测量是实现超精密测控和微纳尺度测量的最有效手段之一,是保障可溯源纳米测量的重要途径,也是迈向计量强国、制造强国不可或缺的关键计量测试技术。
项目团队针对光刻机工件台超精密定位、基础计量测量和高端仪器应用中对激光干涉仪高动态、高分辨力、跨尺度和可溯源等测量需求,深入开展测量原理、方法和测量系统仪器化中的共性科学技术问题研究,突破集成多轴干涉、信号解调和折射率补偿等关键技术,形成全套自主的高性能激光干涉测量系统;提出系列可溯源至长度或频率基准的激光干涉测量方法,实现不确定度为皮、纳米量级的高精度测量;形成了系列知识产品成果,研究成果支撑了我国自主研发光刻机的高精度定位,激光测振仪的信号解调等应用,并入选国家“十二五”科技创新成就展。
项目实现了从干涉仪组件、信号探测解调到多自由度探测方案设计的全链条自研开发的高测速、多轴大量程、高分辨力激光干涉测量系统,提出了光频可溯源系列化激光干涉精密测长方法。截至目前,项目获授权发明专利20余项,发表SCI收录论文30余篇。
此外,项目团队所研发的光刻机用双频激光干涉仪系统,成功应用到我国自研光刻机工件台样机研发过程中,累计应用50余台套,很好的满足了光刻机双工件台样机的精密测量需求,支撑了国内光刻机用双频激光干涉仪能力的形成,减轻了对国外高端干涉仪的依赖,为我国高端装备和仪器研发提供了性能优良且不受制于人的测量及溯源能力。
“中国计量测试学会科学技术进步奖”是在国家科学技术奖励办公室登记备案的省部级科技进步奖。其中申报一等奖的项目要求整体技术已正式应用三年以上并取得较大的经济效益或社会效益。目前产品已成功应用到航空航天、汽车制造、机床检测等多个领域,成为提升中国制造产品质量的有力支撑工具。

中国仪器仪表行业协会团体标准《谐波有功电能表检验装置》制定
第二次工作组会议纪要

2019年7月1日

2019年6月25日

各相关单位和专家:

2019年6月20日下午,由中国仪器仪表行业协会电工仪器仪表分会组织的“团体标准《谐波有功电能表检验装置》制定第二次工作组会议”在烟台召开。来自电力用户、电能表企业等单位的代表27人参加会议。会议由中国仪器仪表行业协会电工仪器仪表分会王宏博主持。
会议内容:
1、《团体标准征求意见汇总处理表》共提出意见数量56条,其中采纳54条,未采纳2条;会议对未采纳和待讨论意见进行了讨论,主笔单位对不采纳的意见内容进行了解答,同时与会人员对所讨论的内容进行确认,并达成一致意见。
2、会议达成以下共识: 1) 标准按照GB/T
1.1—2009给出的规则起草,对编写不规范的地方进行修改。
2)标准中标准术语按照JJF1001-2011等规范统一。
3)装置参比条件的环境温度允差±2℃;基波有功电能的允许误差极限建议增加电流范围。
4)建议标准中增加装置的同名端钮间电位差指标,包含基波压差和谐波压差的要求。
5)考虑到GB∕T17215.302-2013中定义的谐波次数有,谐波有功电能表有3种组合类型:21次、31次、41次,建议方波试验需要对三组谐波次数进行试验。
6)将正文和附录中的部分图片格式的公式及不清晰的图形按要求进行重新编辑;
7)试验验证装置输出的电参数量、影响量试验、试验方法的技术要求。
下步工作计划:
标准工作要求:各装置制造单位和谐波电能表制造单位继续确认指标,完成指标的试验验证。江西电科院8月2日前按照会议研讨内容修改形成工作送审稿,并提交编制说明。
会议经过紧张而富有成效的讨论,完成了会议预定目标,为加快标准的修订进程奠定了基础。
参会人员名单见附件。

按照国家标准化工作管理规范,中国仪器仪表学会制定满足市场急需、反映先进专业技术水平、具有我国自主知识产权的团体标准。按照我会标准化工作委员会的标准制定工作流程,经过我会标准化工作委员会的前期项目筛选和审核,拟制定如下标准:
《智能电能表软件可靠性评估方法[xb21cn1]》
(项目申报单位:国网冀北电力有限公司电力科学研究院)
上述标准制定项目的目的、意义和必要性等参见附件的《CIS标准项目公示表》。
现请各有关单位或个人,针对该标准制定项目如果有相关意见或建议,请按照该表格反馈给我会。
特此公示。公示期自发布之日起4周。 联系人:郭老师 电 话:010-82800385
email:scis@cis.org.cn或gxw@cis.org.cn

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2019年6月28日附件:CIS标准项目公示表 来源:中国仪器仪表学会

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